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전기 정적 Chuck 알루미늄 나이트라이드 세라믹 밀도 3.3g/Cm3 표면 거칠성 Ra≤6um

알루미늄 질화물 세락믹
2024-01-24
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#알루미늄 질화물 세라믹 튜브 #내 아크성 알루미늄 질화물 세락믹 #단열재 저항하는 알루미늄 질화물 세락믹
알루미늄 나이트라이드 전자 정전 Chuck에 대한 세라믹 밀도 3.3g/Cm3 표면 거칠성 Ra≤6um 제품 설명: 제품 개요 - 알루미늄 질소 세라믹 정전전기 턱 (ESC) 은 다양한 반도체 공정에서 가공 중에 웨이퍼를 붙잡기 위해 사용됩니다.ESC는 고전압으로 편향 된 통합 전극을 가진 판을 사용하여 판과 웨이퍼 사이에 정전적 유지 힘을 설정합니다.알루... 더 보기
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